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磁傳感器通常都是組裝在機器、設備內部來使用的,F代整機正迅速向小型輕便、多功能、智能化方向發展,要求所用傳感器即使對微小空間內物理量的變化也能夠高靈敏度、高速度地做出響應。即在傳感器本身需要小型輕量化的同時,還迫切希望提高其工作速度、檢測分辨率和靈敏度。
?????半導體大規模集成電路制造技術、微電子機械系統制造技術、微組裝技術的推廣應用,磁性薄膜、非晶、多層膜、納米磁性絲等新材料和平面線圈微磁器件制造工藝及表征手段的不斷進步,為磁傳感器的小型化、微型化奠定了可靠的基礎,應用各種新效應的許多新型高性能、小型化及微型化磁傳感器正不斷投放市場。早期上市的AMR薄膜敏感元件和傳感器,新近推出的GMI傳感器、SI傳感器、SV-GMR傳感器,和即將實用化的薄膜磁通門磁強計、無線磁彈微型傳感器陣列,就是其中的典型代表。下面,簡單介紹幾種微型磁傳感器的工作原理、基本結構及主要技術性能。
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